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日本美蓓亞三美 MMS101 微型6分量力/力矩傳感器
詳情說(shuō)明

      一、MMS101 微型6分量力/力矩傳感器介紹

      日本美蓓亞三美（MinebeaMitsumi）MMS101 是一款6軸力扭矩傳感器，它具有3軸力和3軸力矩。 MMS101 采用MEMS芯片和金屬結(jié)構(gòu)的混合結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)6軸檢測(cè)。 MMS101 在其模塊中內(nèi)置了 AFE IC，并產(chǎn)生數(shù)字輸出 (SPI)。 用于矩陣運(yùn)算的校正系數(shù)（去除其他軸干擾分量）存儲(chǔ)在 AFE IC 內(nèi)的存儲(chǔ)器中。 由于可以在測(cè)量開(kāi)始前立即讀取它們，因此用戶(hù)無(wú)需控制傳感器和校正系數(shù)。


      此外，MMS101 模塊中內(nèi)置的 LDO 可降低噪音。 本產(chǎn)品極其小巧輕便，適用于機(jī)器人手的指尖。


      二、MMS101 微型6分量力/力矩傳感器的特點(diǎn)

         ? 微型尺寸：Φ9.6(W) × 9.0(H) mm；

         ? 重量輕：3 g；

         ? 高載荷范圍： Fx, Fy, Fz：200N / Mx, My, Mz：1.8N?m；

         ? 額定量程范圍： Fx, Fy, Fz：40N / Mx, My, Mz：0.4N?m；

MMS101 傳感器的載荷及量程范圍

         ? 內(nèi)置LDO降噪：

                  ? Fx, Fy：0.04N RMS /   Fz：0.06N RMS；

                  ? Mx, My：0.0004N?m RMS /   Mz：0.0008N?m RMS；

         ? 通過(guò)內(nèi)置序列器（SPI）數(shù)字輸出6軸數(shù)據(jù)。


      三、MMS101 微型6分量力/力矩傳感器的技術(shù)規(guī)格

（1）力/扭矩傳感器性能指標(biāo)
測(cè)試條件(T = 25℃, VDD = 3.8 to 14 V, VDDIO = 1.14 to 3.6 V)
指標(biāo)符號(hào)條件最小典型值最大單位
理論分辨率FxFyFzFRES--0.001-N
MxMyMzMRES--0.00001-N?m
有效分辨率(備注1)FxFyFEresxy--0.04-N
FzFEresz--0.06-N RMS
MxMyMEresxy--0.0004-N?m/RMS
MzMEresz--0.0008-N?m /RMS
線性度(備注1)FLFS=40N or-1-1%FS
ML0.4N?m-1-1%FS
滯后FHysFS=40N or-1-1%FS
MHys0.4N?m-1-1%FS
測(cè)量精度 (備注1)FAccFS=40N or-5-5%FS
MAcc0.4N?m-5-5%FS
轉(zhuǎn)換時(shí)間tcon--781.25-usec
延時(shí)tlat

轉(zhuǎn)換時(shí)間：典型值;

通訊時(shí)鐘：1MHz;

無(wú)延遲切換 AFE 訪問(wèn)

--2msec
備注1: 圖表中的值是使用我們的評(píng)估設(shè)備和電路板的測(cè)量結(jié)果


（2）電氣指標(biāo)
模擬指標(biāo)(T= 25℃, VDD = 4.3 V, VDDIO = 3.3 V)
指標(biāo)符號(hào)條件最小典型值最大單位
VDD 電流消耗IVDDact測(cè)試工況--10mA
VDDIO 電流消耗IVDDIOact測(cè)試工況--20uA
數(shù)字I/O 指標(biāo)(T = 25℃, VDD = 3.8 to 14 V, VDDIO = 1.14 to 3.6 V)
指標(biāo)符號(hào)條件最小典型值最大單位
高電平輸入電壓VIH-0.8 × VDDIO-VDDIO + 0.3V
低電平輸入電壓VIL--0.3-0.2 × VDDIOV
輸出電壓高電平VOH1

VDDIO ≧ 2.0V,

Iload = -3mA

VDDIO - 0.4--V
VOH2

VDDIO ＜ 2.0V,

Iload = -1mA

0.8 × VDDIO--V
輸出電壓低電平VOL1

VDDIO ≧ 2.0V,

Iload = 3mA

--0.4V
VOL2

VDDIO ＜ 2.0V,

Iload = 1mA

--0.2 × VDDIOV


（3）尺寸規(guī)格
MMS101 傳感器的尺寸圖
推薦的FPC連接器：FH28D-20S-0.5SH (HIROSE ELECTRIC CO.,LTD)


（4）傳感器坐標(biāo)
*坐標(biāo)原點(diǎn)是傳感器頂面中心.
MMS101 傳感器坐標(biāo)


      四、MMS101 微型6軸力/力矩傳感器的應(yīng)用領(lǐng)域

應(yīng)用實(shí)例
MMS101 傳感器應(yīng)用于機(jī)器手、夾具MMS101 傳感器應(yīng)用于檢驗(yàn)流程設(shè)備
應(yīng)用于機(jī)械手、夾具
應(yīng)用于檢驗(yàn)流程設(shè)備等




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